なぜ、秒単位で時間が重要になる場面においては、赤外線加熱の方が強制送風より優れているのか？ もし依然としてウェーハを加熱するために強制送風を利用しているのであれば、それはまるで待っているだけの状態です。 強制送風の仕組みを考えてみてください。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つ必要...

揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーターを使用する際の安全対策 ウェーハ処理において化学洗浄を行うとき、通常は熱に弱い溶剤が使われます。これらの溶剤は可燃性があり、場合によっては爆発性もあります。高温の赤外線ランプをその中に入れるのは、まさにトラブルを招く行為です。 重要なのは、ランプ自体を「より安全...

スマートファブで熱エネルギーを適切に管理する方法 もしスマートファブを構築するつもりなら、従来の熱処理のやり方ではもはや不十分だと気づいているはずです。単に「温度を上げればいい」というわけにはいきません。実際にフィードバックを与えてくれるシステムが必要です。 私たちの多くは、ウェーハの加熱に高効率...

なぜIR硬化装置には優れた反射器が必要なのか 半導体製造プロセスで「グリーン化」を図るということは、古くて非効率的な対流式オーブンを使わないようにすることを意味します。今では、ウェーハの表面に直接熱を与えるIR硬化方式が利用されています。しかし、問題は、ランプだけではエネルギーが無駄になってしまう...

IRを利用したMEMSの乾燥処理 MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、ウェーハの乾燥処理がいかに面倒かを知っているでしょう。わずかな水分やイオン汚染があっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。長年にわたり、対流式オーブンを使ってきましたが、正直なところ、ウェーハを乾燥させる...

実際に効果的で、かつ安全性も確保されているウェーハヒーター これらのウェーハヒーターを開発したのは、単純な理由からです。つまり、高価な機器が電気的なトラブルなしに正常に動き続けるようにするためです。 私たちが「テストを行う」と言うとき、それは本当の意味でのテストです。すべてのランプは、製造ラインを...

是非を言えば ウェーハ処理ラインが順調に動いているとき、最も避けたいのは部品の故障によって全てが停止してしまうことです。必要なのは、元の部品と同じ性能を持ちながら、高額なOEM製品ほどの価格ではない代替品です。 それこそが、私たちが開発した赤外線ランプの目的です。これらは、有名メーカーの半導体装置...

製造現場において、洗浄が終わったばかりのウェーハは、まだ完全に処理が終わっていない状態です。水滴や微粒子、不適切な乾燥処理による熱ストレスによって、次の工程に進む前にウェーハの品質が損なわれてしまうことがあります。実際の課題は、単に水を除去するだけではなく、表面状態や熱管理を徹底的にコントロールす...

ファブの現場において、フォトレジストの挙動は、特にソフトベイクやハードベイクの際の熱的条件に大きく左右されます。ウェーハ全体での加熱が均一でなければ、端部にビードができたり、線幅が変わったりし、結果として歩留まりが低下します。ランプは単なる付属品ではなく、実際に熱制御が行われる重要な要素です。 こ...