ホットエアーによってウェーハの品質が損なわれるのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームで作業している場合、わかっていると思いますが、ちょっとしたほこり一つでも、全体の製品が台無しになってしまいます。問題は、一般的な加熱要素は実際には粒子を発生させる原因になるということです。それらの粒子が基...

壁を加熱するのをやめて、ウエハーを乾燥させましょう 半導体乾燥装置の周りで作業したことがある人なら、その状況がどんなものかわかるでしょう。チャンバーを開けると、すぐに熱気が顔に当たります。ウエハーだけでなく、装置の壁自体も高温になっています。 これは無駄なことです。一般的なヒーターはエネルギーをあ...

なぜ金メッキ処理が施されたIRランプが重要なのか 半導体製造工場では、単にワット数を上げるだけでは不十分です。重要なのは、その熱がどこに行くかということです。 一般的なIRランプを考えてみてください。これはエネルギーを360度全方位に放出します。適切な反射器がなければ、出力の半分が装置の筐体を温め...

効率の悪い使い方をやめよう：なぜ金蒸着反射鏡が重要なのか ウェーハ製造において、エネルギーがシステム外に漏れ出してしまうのは、単純に設計上の欠陥です。もし標準的な炭素繊維製のIRランプを使用しているなら、その熱がシリコンに向かわず、逆方向に逃げてしまっていることに気づいているはずです。これは明らか...

ランプの故障によって生産効率が低下するのを防ぎましょう。 大量生産を行う工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に機械が停止するだけでなく、石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェハーの上に降り注ぎます。そうなると、ウェハーはすぐに廃棄処分され、長時間かけて設備を清掃しなければな...

「ガラスの雨」を防ぎ、ウェーハをランプの故障から守る 高負荷の製造環境では、たった1つのランプが壊れるだけで、その日の作業全体が台無しになり、大量のウェーハも失われてしまいます。 石英管が壊れると、単に暗くなるだけではありません。実際には爆発してしまい、微細なガラス片やほこりが生産ラインに飛び散り...

なぜヒーターのケースに金を使用するのか？ シリコンウェーハを加熱するとき、ごくわずかなエネルギーも大切です。もしその熱がウェーハに当たるのではなく、ケースの壁に吸収されてしまうと、結局は労力と時間の無駄になってしまいます。 だからこそ、私たちはステンレス製のケースの内部に金をコーティングして反射機...

製造現場において、フォトレジストの焼成処理は推奨されるものではなく、必須の工程です。わずか0.5℃の温度変動だけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、スリーブ内の微粒子一つでも、ウェーハを破壊してしまう可能性があります。当社の石英スリーブは、このような状況に対応するために設計されています。それに...