웨이퍼 경화용 반사기

왜 IR 경화 장비에는 효과적인 반사체가 필요한가? 반도체 공장에서 ‘친환경적인 방식’을 채택한다는 것은, 구식의 대류식 오븐들을 버리는 것을 의미합니다. 요즘에는 웨이퍼 표면에 직접 열을 가할 수 있는 적외선(IR) 경화 방식이 사용됩니다. 하지만 문제는, 단독으로...