SRD (스핀 린스 드라이어) 적외선 램프

fab 라인 현장에서, 웨이퍼에 워터마크나 입자를 남기는 SRD는 단순히 외관 문제에 그치지 않고 수율 저하를 초래한다. 적외선 램프는 전체 사이클의 열원 역할을 하며, 열 예산에 맞는 건조와 필름에 스트레스를 주는 건조의 경계를 결정한다. 기술적으로 중요한 점...