서론 솔직히 말해보자면, 웨이퍼 처리 라인이 정상적으로 작동하고 있는 상황에서 가장 원하지 않는 것은 부품 고장으로 인해 모든 것이 멈추는 일입니다. 필요한 것은 원래 부품과 동일한 성능을 발휘하는 대체 부품뿐입니다. 단, 너무 비싼 OEM 제품처럼 비싼 가격은 피해...

Fab 공정에서 포토레지스트 베이크 프로파일이 단 0.5도만 벗어나도 수많은 웨이퍼에 영향을 줄 수 있다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 “열 공정”이 아니다. 이들은 라인 폭 제어와 수율을 결정한다. 히터가 성능을 발휘하지 못하면, 비균일한 크리티컬 디멘션,...