왜 클린룸에서 강제 대류식 오븐을 사용하지 않는가?
많은 반도체 제조 공정에서 여전히 강제 대류식 오븐이 사용되고 있습니다. 이런 오븐들은 공기를 가열한 다음, 그 열이 기판에 전달됩니다. 이는 매우 느리고 간접적인 방식이며, 종종 전체 공정의 병목 현상이 됩니다.
그래서 우리 중 많은 사람들이 적외선 난방 방식으로 전환하고 있습니다. 적외선 난방은 중간 단계를 생략할 수 있습니다. 공기를 기다릴 필요 없이, 에너지가 직접 재료로 전달됩니다.
온도 상승에 드는 시간을 낭비하지 마세요
대류식 오븐이 온도가 올라갈 때까지 기다리는 데 걸리는 시간을 생각해보세요. 몇 분, 심지어 몇 시간 동안 그냥 앉아 있어야 합니다. 정말 짜증나는 일입니다.
적외선 램프는 다릅니다. 순식간에 온도가 상승합니다. 0도에서 최고 온도까지 단 몇 초 만에 도달할 수 있습니다. 대량 생산을 하는 경우, 30분이 걸리던 온도 상승 시간을 10초로 줄일 수 있다면 엄청난 시간을 절약할 수 있습니다.
위생과 냉각 유지
또한 클린룸에서의 문제도 있습니다. 팬은 공기를 움직이는 데는 유용하지만, 미세한 먼지를 날려버리는 원인이 되기도 합니다. HEPA 필터가 있더라도, 너무 많은 공기가 움직이면 오염이 발생할 수 있습니다.
적외선 히터는 그런 문제가 없습니다. 팬도 없고, 소음도 없으며, 먼지도 날아다니지 않습니다. 게다가, 필요한 곳에만 열이 전달되므로 오븐 전체를 뜨겁게 할 필요가 없습니다. HVAC 시스템도 안심할 수 있습니다.
단점
물론 적외선도 모든 공정에 적합한 것은 아닙니다. 램프가 부품을 제대로 인식할 수 있어야 합니다. 부품들이 서로 겹쳐져 있거나 복잡한 형태를 하고 있다면, 한곳이 차가워질 수 있습니다.
이를 해결하기 위해서는 단순히 연결하는 것만으로는 부족합니다. 여러 개의 램프를 사용하거나 반사판을 활용하여 열을 그 공간으로 보내야 합니다.
또한 에너지가 매우 집중되기 때문에 주의를 기울여야 합니다. 표면 온도를 측정하는 장비를 사용하지 않으면, 부품이 너무 뜨거워지는 것을 알아차리기도 전에 손상될 수 있습니다.