웨이퍼용 정밀 IR 센서

왜 매초가 중요한 상황에서는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한지 만약 여전히 웨이퍼를 가열하기 위해 뜨거운 공기를 사용하고 있다면, 그건 사실상 기다리는 것에 불과합니다. 강제 공기 순환 방식을 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를...