저렴한 웨이퍼 건조용 램프 전구

생산 현장에서는 포토레지스트의 성능이 열 분포에 의해 결정됩니다. 특히 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 그렇습니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 약간의 온도 차이가 생기거나 불균일한 가열이 발생하면, 웨이퍼의 가장자리에 문제가 생기고, 선의 굵기도 변하며, 최종 제품의...