당신의 웨이퍼 생산성을 해치는 히터를 그만 사용하세요! 클래스 100급 청정실에서 작업한다면, 알다시피 먼지 한 알만 잘못된 곳에 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 문제는 대부분의 일반적인 가열 요소들이 사실상 먼지를 발생시키는 원인이라는 점입니다. 그래서 우...

벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 건조시키는 데에만 집중하세요. 반도체 건조 장비를 다룬 경험이 있다면 그 느낌을 잘 알 것입니다. 챔버를 열면 열기가 바로 얼굴로 달려듭니다. 웨이퍼뿐만 아니라 장비의 벽면도 매우 뜨거워집니다. 이건 낭비입니다. 일반적인 히터들...

왜 금으로 코팅된 IR 램프가 중요한가? 반도체 공장에서는 단순히 와트수를 높이는 것만으로는 충분하지 않습니다. 중요한 것은 그 열이 어디로 가는지입니다. 일반적인 IR 램프의 경우, 에너지가 360도 방향으로 퍼집니다. 반사판이 없다면, 전력의 절반이 기계의 섀시를...

에너지 낭비를 멈추세요: 금으로 코팅된 반사체가 왜 중요한가 웨이퍼 제조 공정에서 에너지가 시스템 밖으로 빠져나가는 것은 좋지 않은 설계입니다. 일반적인 탄소섬유 기반의 적외선 램프를 사용할 경우, 그 열이 실리콘에 도달하지 못하고 그냥 흩어져 버립니다. 이는 에너지...

램프 고장으로 인해 생산성이 저하되는 것을 막으세요. 대량 생산 환경에서 램프가 고장나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아닙니다. 석영관이 파열되면 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 그러면 웨이퍼는 즉시 폐기되고, 설비를 청소...

“유리 조각의 비”를 막아야 합니다: 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하기 고부하가 요구되는 생산 환경에서는 단 하나의 램프가 고장 나더라도 전체 생산 과정이 멈추게 되며, 그로 인해 수많은 웨이퍼들이 손상될 수 있습니다. 쿼츠관이 파손되면 단순히 빛이 나지 않는 것에...

왜 히터 케이스 내부에 금을 사용하는가? 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 에너지가 중요합니다. 만약 그 열이 웨이퍼에 도달하지 못하고 히터 케이스의 벽면으로 스며들어간다면, 결국 에너지와 시간을 낭비하는 셈입니다. 그래서 우리는 스테인리스 스틸로 된 히터 케이스 내...

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 이행해야 하는 과제입니다. 0.5°C의 온도 변화만으로도 치명적인 결과가 발생할 수 있으며, 심지어 작은 먼지 한 알만으로도 칩이 손상될 수 있습니다. 저희가 사용하는 쿼츠 소재의 슬리브는 바로...