MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

IR을 이용한 MEMS 센서의 건조 처리 만약 MEMS 센서를 다룬 경험이 있다면, 웨이퍼를 건조하는 데 있어서 겪는 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 물방울이나 이온 오염만 있어도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만...