บนพื้นโรงงาน
SRD ที่ทิ้งรอยน้ำหรืออนุภาคบนเวเฟอร์ไม่เพียงแต่ดูไม่ดี—มันยังทำให้ผลผลิตลดลงด้วย ไฟอินฟราเรดเป็นตัวขับความร้อนของวงจรทั้งหมด และมันกำหนดเส้นแบ่งระหว่างการอบแห้งที่พอดีกับงบประมาณความร้อนและการอบแห้งที่ทำให้ฟิล์มเครียด สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราวางแบบไฟอินฟราเรด SRD รอบหน้าต่างกระบวนการ ไม่ใช่แผ่นข้อมูลที่มันวาว คลื่นสั้น NIR ช่วยให้คุณได้อัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็ว และหุ้มควอตซ์กับรูปทรงของตัวสะท้อนช่วยให้การกระจายอุณหภูมิที่ระดับเวเฟอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C ตลอดกระบวนการหมุน การส่งออกยังคงมีความเสถียรเพียงพอเพื่อปกป้องความสมบูรณ์ของฟิล์มโฟโตรีซิสต์หลังการอบเบาและอบแข็ง และสามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยไม่เพิ่มอนุภาค—เหมาะสำหรับห้องสะอาดระดับ 1–100 ความสามารถในการทำซ้ำขึ้นอยู่กับการเข้าถึงจุดตั้งค่าที่เหมือนกัน ในทุกๆ รอบ โดยมีการเบี่ยงเบนขั้นต่ำตลอดพันชั่วโมง ทำไมมันถึงทำงานใน SRD ใน SRD ไฟต้องทำการระเหยน้ำล้างโดยไม่ทำให้ซับสเตรตหรือชั้นโพลิเมอร์ร้อนเกินไป การควบคุมความร้อนที่แน่นหนาช่วยลดระยะเวลาอบแห้ง รักษาการควบคุมขนาดที่สำคัญให้แน่นหนา และลดของเสีย คุณจะได้รับความจุในการผลิตที่สูงขึ้นและระยะเวลาการบำรุงรักษาที่คาดเดาได้ ขณะที่การใช้พลังงานลดลงด้วยการเชื่อมต่อ NIR ที่มีประสิทธิภาพและการตอบสนองต่อความร้อนที่รวดเร็ว ในสายการพิมพ์ลาย หมายความว่ามีล็อตการทำซ้ำที่น้อยลงและมีประวัติความร้อนที่สม่ำเสมอในทุกเวเฟอร์ รายละเอียดที่สำคัญ การติดตั้งต้องถูกต้อง: การจัดแนวทางแสงให้ตรงกับแกนหมุนและที่เชื่อมต่อที่สะอาดกับห้อง การทำให้ไม่ถูกต้องจะทำให้เกิดจุดร้อนและการอบแห้งที่ไม่สม่ำเสมอ ไฟทำงานภายใต้แรงดันและพารามิเตอร์น้ำหล่อเย็นที่กำหนด และรูปทรงของห้องต้องตรงกับรูปทรงของตัวสะท้อน วางแผนการเบิร์นอินที่สั้น จากนั้นตรวจสอบการส่งออกเป็นระยะเพื่อรักษาความสม่ำเสมอ ±0.1°C ตลอดวงจรการทำงานของ SRD ทั้งหมด