Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong lúc sấy wafer hoặc xử lý phim quang học không chỉ làm giảm tốc độ sản xuất mà còn ảnh hưởng đến các kích thước quan trọng của wafer và làm giảm tỷ lệ thành phẩm. Bạn cần một nguồn nhiệt có khả năng cung cấp nhiệt nhanh, ổn định và duy trì mức nhiệt ổn định suốt quá trình sản xuất.
Các bộ phát sóng hồng ngoại dùng trong công nghệ PECVD của chúng tôi sử dụng năng lượng sóng ngắn để tạo ra phản ứng nhiệt nhanh chóng. Độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C trong suốt quá trình sản xuất. Các lớp vỏ bằng thạch anh và các sợi dây được thiết kế đặc biệt giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi, giúp duy trì môi trường sạch trong phòng sạch loại 1–100. Hiệu suất hoạt động của thiết bị vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ, với sai số nhiệt độ dưới 5%, giúp việc kiểm soát nhiệt độ trở nên dễ dàng hơn. Thiết bị này có thể được tích hợp trực tiếp vào các mô-đun PECVD và các quy trình xử lý nhiệt hiện có, với các tùy chọn điện áp tiêu chuẩn và kích thước nhỏ gọn, không gây cản trở việc bố trí thiết bị.
Trong quy trình sấy và làm sạch wafer, các bộ phát sóng này giúp loại bỏ hơi ẩm trên bề mặt wafer một cách nhanh chóng, mà không gây ra sự chậm trễ trong quy trình sản xuất. Trong quy trình in ấn, chúng giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, từ đó giúp duy trì độ đồng đều của phim quang học. Trong quy trình đóng gói, chúng giúp làm khô các chất kết dính một cách nhanh chóng và đồng đều, giúp rút ngắn thời gian sấy mà không ảnh hưởng đến độ bám dính của các chất kết dính.
Khi kết hợp với các thiết bị điều khiển năng lượng hiệu quả, mức tiêu thụ điện năng sẽ giảm so với các bộ phát nhiệt thông thường. Thời gian bảo trì cũng được kéo dài hơn vì không có các sợi dây nóng tiếp xúc với khí trong quá trình sản xuất.
Điều quan trọng khi lắp đặt là phải đảm bảo rằng hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng phù hợp với hệ thống kiểm soát nhiệt của thiết bị. Chúng tôi cung cấp các bản đồ hiệu chuẩn cho các cấu hình buồng xử lý phổ biến. Khi chuyển từ sóng trung bình sang sóng ngắn, bạn cần dành thêm thời gian để thiết bị đạt đến nhiệt độ mong muốn. Hãy đảm bảo rằng vị trí đặt cảm biến phù hợp với mô hình nhiệt độ mà chúng tôi cung cấp. Ngoài ra, hãy chọn các phụ kiện lắp đặt phù hợp với môi trường phòng sạch, và kiểm tra xem các đường ống dẫn khí có phù hợp hay không, nhằm tránh tình trạng ngưng tụ hơi nước tại các điểm tiếp xúc.