用于光刻机的石英玻璃防护罩
别再让灯管故障影响生产效率了 在大型生产工厂中,灯管烧毁无疑是个大问题。这不仅会导致设备停机,当石英玻璃外壳破裂时,碎片和化学物质还会溅到芯片上,从而导致芯片报废。这样一来,就需要花费大量时间来清理生产线。
我们找到了更好的解决方案:在加热元件与工件之间加上一层石英玻璃作为屏障。这个方法很简单,但...
用于制造红外灯的石英套管
在芯片制造过程中,对光刻胶进行烘烤并非可选项,而是一项必须完成的工序。温度只要变化0.5摄氏度,就可能导致关键尺寸出现偏差;而一旦有杂质进入反应腔,就可能会损坏芯片。我们为红外灯设计的石英套管,正是为应对这些挑战而制造的:它能保持灯光输出稳定,同时确保反应腔内的清洁,从而让整个工艺过程处于受控状态...
中波石英加热管
在制造车间里,有一个不变的规律:如果烘烤温度出现0.5℃的波动,就会导致光刻胶的厚度发生变化,而哪怕只有一颗杂质存在,也足以破坏整个芯片。中波石英加热管正是用于这种场合的。在这里,热控制并非一个可调整的参数,而是一种必须遵循的工艺流程。
关键在于其工作原理
中波石英加热管在2.5–4微米波段内发射...