工厂干燥系统的能源审计

停止让墙壁过热吧（开始真正地烘干晶圆吧） 如果你曾经接触过半导体烘干设备，就会明白那种情况。当你打开设备舱门时，强烈的热量会立刻扑面而来。不仅晶圆会被烫伤，就连设备的墙壁也会变得极其炽热。 这其实是一种浪费。普通的加热器会将能量向各个方向释放，结果就是让昂贵的设备外壳变成一个巨大的散热体。这样一来...