用于晶圆的精密红外传感器

为什么在时间至关重要的情况下，红外线加热比强制空气加热更有效 如果你仍然依赖热空气循环来加热晶圆，那其实就是在等待而已。 想想强制空气加热的原理：先加热空气，然后再等待空气把晶圆加热。这个过程非常缓慢，而且还有令人厌烦的延迟。而红外线加热则省去了这个中间环节——它通过电磁辐射直接将能量传递到硅基片...