Arrêtez de laisser les pannes des lampes ruiner vos résultats de production.
Dans une usine à forte capacité de production, une panne de lampe est un cauchemar. Ce n’est pas seulement une question de temps d’arrêt : lorsque l’enveloppe en quartz éclate, des fragments de verre et des résidus chimiques se retrouvent directement sur vos wafer. Cela signifie que ces derniers doivent être jetés immédiatement, et il faudra passer toute une journée à nettoyer l’équipement.
Nous avons trouvé une solution meilleure : placer un bouclier en verre de quartz entre l’élément chauffant et la pièce à traiter. C’est simple, mais efficace.
Pourquoi le quartz ?
Nous utilisons du quartz fondu de haute pureté, car ce matériau résiste bien aux chocs thermiques. Il ne se détériore pas lorsque la température augmente, ce qui vous évite de devoir vous soucier du fait que le bouclier puisse se briser pendant que la lampe s’allume. Pensez-y comme à une sorte d’assurance : si la lampe explose à cause d’une fluctuation de tension ou d’un choc thermique, le bouclier retiendra les débris. Ainsi, vos wafer restent propres.
Les inconvénients
Il faut bien admettre qu’ajouter une couche de verre réduit légèrement la transmission des ondes infrarouges. Vous ne bénéficiez donc pas de 100 % du chauffage par rapport à une lampe sans bouclier. C’est un petit prix à payer, mais il peut être nécessaire d’ajuster quelques paramètres. Vous pouvez par exemple augmenter la puissance de la lampe ou la rapprocher un peu plus des wafer pour atteindre la température souhaitée. N’oubliez pas de vérifier à nouveau les réglages du PID après avoir installé les boucliers, afin d’éviter de dépasser la température désirée.
Pour maintenir le fonctionnement correct
Ce sont des remplacements simples : ils s’intègrent parfaitement dans les boîtiers standards, sans qu’il soit nécessaire de modifier l’équipement. Avec le temps, vous remarquerez que le verre devient “nuageux”. C’est simplement dû à l’accumulation de saletés. Lorsque cela arrive, la distribution de la chaleur devient inégale, car les ondes infrarouges ne peuvent plus passer facilement. La solution ? Essuyer rapidement le verre avec de l’IPA de qualité électronique, et tout redeviendra normal.
Un dernier conseil : maintenez une tension électrique stable. Les fluctuations de tension mettent à rude épreuve le filament, ce qui est précisément ce qui provoque les fuites. Le bouclier existe justement pour vous protéger, mais une alimentation stable évite au bouclier de devoir assumer cette fonction.