Comment assurer la sécurité lors de l’utilisation de la chaleur infrarouge à proximité de produits chimiques volatils
Lorsque vous utilisez des outils pour nettoyer des wafer avec des produits chimiques, vous avez généralement affaire à des solvants qui ne supportent pas bien la chaleur. Ce sont des substances inflammables, voire explosives. Ajouter une lampe infrarouge à haute température dans ce mélange, c’est comme chercher des ennuis.
La solution n’est pas de rendre la lampe « plus sûre », mais plutôt de trouver un moyen de la protéger.
Éviter les étincelles avant qu’elles ne surviennent
La plupart des lampes infrarouges laissent leurs terminaux électriques et leur quartz exposés à l’air. Dans une zone de nettoyage, c’est une véritable catastrophe en puissance. Une petite étincelle ou un peu de vapeur qui pénètre dans la boîtier peut causer des problèmes sérieux.
Pour résoudre ce problème, nous enfermons toute la lampe dans un boîtier résistant aux explosions. Nous remplissons ce boîtier d’une atmosphère chimiquement inerte, afin que la lampe et ses connexions ne soient jamais en contact avec l’air dangereux.
De plus, nous utilisons des matériaux de haute qualité : du fluoropolymère ou des alliages spécialisés. Cela empêche les produits chimiques d’atteindre la lampe, tout en permettant à l’électricité de circuler normalement.
Le problème de la chaleur
Le problème est le suivant : lorsque l’on enveloppe la lampe dans un boîtier protecteur, on risque de bloquer la chaleur. On ne veut pas que la lampe ne reçoive pas l’énergie nécessaire, ou pire, que la lampe ne se détruise elle-même à cause de la chaleur.
Pour résoudre cela, nous utilisons des fenêtres fabriquées à partir de matériaux à haute transmission thermique. La chaleur atteint ainsi le wafer, mais la lampe reste protégée.
Il faut également surveiller de près la température interne. Si le scellement est trop strict, la chaleur s’accumule aux extrémités du tube, ce qui peut endommager les filaments de la lampe. Nous compensons cela en utilisant des dissipateurs de chaleur intégrés, afin d’évacuer l’excès de chaleur des points de connexion. Cela permet à la lampe de fonctionner plus longtemps.
Ce que cela signifie pour votre installation
Attention : ces unités encapsulées sont plus volumineuses que les lampes ordinaires. Vous devrez probablement ajuster les supports de fixation pour faire de la place au boîtier.
De plus, comme le boîtier ajoute de la masse, la chaleur ne se propage pas aussi rapidement. Il faudra donc ajuster les paramètres de régulation de la température. Il faudra un peu plus de temps pour que la lampe réagisse, mais c’est un petit prix à payer pour éviter que votre laboratoire ne explosent.