なぜ金メッキ処理が施されたIRランプが重要なのか
半導体製造工場では、単にワット数を上げるだけでは不十分です。重要なのは、その熱がどこに行くかということです。
一般的なIRランプを考えてみてください。これはエネルギーを360度全方位に放出します。適切な反射器がなければ、出力の半分が装置の筐体を温めるために使われてしまいます。これは無駄なことです。だからこそ、金メッキ処理が施された反射器を使用するのです。つまり、無駄になっているエネルギーを再びウェハーに向けて返すわけです。
金の秘密
実は、金はアルミニウムや研磨された鋼鉄よりも赤外線を反射する能力が優れているのです。反射器に薄い金の層を加えることで、短波長の赤外線がハードウェアに吸収されずにウェハーに当たるようになります。
これにより、必要な場所にだけ熱が集中し、1平方ミリメートルあたりの熱量も増えます。また、電源にかかる負担も減ります。本当に効率的です。
熱対策
高ワット数の硬化用ランプを使用する場合、かなりのエネルギーを扱うことになります。金メッキ処理が施された反射器によって、その熱が一点に集中します。これにより、硬化処理の時間が大幅に短縮されます。しかし、それだけ冷却システムにもより大きな負担がかかります。もし適切な空気流が確保されていなければ、装置が歪んだり、異常な動作を起こしたりする可能性があります。
設置のコツ
私たちが開発したこのランプは、既存の装置にそのまま取り付けられます。特別な改造は不要です。最良な点は、金メッキ処理が施されているおかげで、フィラメントの温度を低くしても、ウェハーの表面温度を目標値に保つことができることです。つまり、ランプの寿命が長くなり、数週間ごとにフィラメントが交換される必要もありません。
設置時のヒント：電気的な接続部が金メッキ処理が施されたランプのワット数に耐えられるかを必ず確認してください。また、エネルギーが集中するため、誤差の余地はほとんどありません。温度上昇時に目標値を超えないように、PIDコントローラーの調整には十分注意してください。