ランプの故障によって生産効率が低下するのを防ぎましょう。
大量生産を行う工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に機械が停止するだけでなく、石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェハーの上に降り注ぎます。そうなると、ウェハーはすぐに廃棄処分され、長時間かけて設備を清掃しなければなりません。
私たちはもっと良い方法を考え出しました。加熱要素とウェハーの間に石英製のシールドを設置するのです。シンプルですが、効果的です。
なぜ石英か？
高純度の融解石英を使用しています。この素材は耐久性が高く、温度が急上昇しても壊れることはありません。そのため、ランプの温度が上昇する際にシールド自体が割れる心配もありません。まるで保険のようなものです。電圧の急変や熱衝撃によってランプが爆発しても、シールドが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェハーは汚れずに済みます。
デメリット
正直に言うと、ガラスの層を追加すると、赤外線の透過率が少し低下します。開放型のランプと比べると、100％の熱が伝わらないのです。しかし、それは小さな代償です。必要に応じて、ワット数を上げたり、ランプをウェハーにもう少し近づけたりして、目標の温度を達成できます。ただし、シールドを取り付けた後はPIDの調整をしっかり行い、過剰な加熱が起こらないようにしてください。
正常な動作を維持するために
これらはそのまま交換可能です。標準的なケースにぴったり収まるので、特別な改造は必要ありません。
時間が経つと、ガラスが「曇ってくる」ことがあります。これは汚れが蓄積されたせいです。そうなると、赤外線がうまく通過しなくなり、熱の分布が不均一になります。解決策は、電子用のIPAで簡単に拭き取るだけです。
最後に、電圧を安定させておくことが重要です。電圧の変動はフィラメントに負荷を与え、それが結果としてランプの破損を引き起こします。シールドはそのような状況を防ぐためのものですが、安定した電力供給によって、シールドが機能しなくて済みます。