당신의 웨이퍼 생산성을 해치는 히터를 그만 사용하세요!
클래스 100급 청정실에서 작업한다면, 알다시피 먼지 한 알만 잘못된 곳에 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 문제는 대부분의 일반적인 가열 요소들이 사실상 먼지를 발생시키는 원인이라는 점입니다. 그래서 우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 우리는 반도체 공장에서 사용되는 고순도 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.
비결은 바로 석영에 있습니다.
우리는 오염물질이 거의 없는 융합 석영을 사용합니다. 왜냐하면 금속 오염은 큰 문제가 되기 때문입니다. 일반적인 유리는 반복적인 가열과 냉각을 견디지 못해 파괴됩니다. 하지만 이 석영은 아주 튼튼합니다.
게다가 가장 좋은 점은, 유기 결합제나 접착제가 전혀 들어있지 않다는 것입니다. 저가형 히터에서 나는 이상한 연기나 냄새도 없습니다. 그러니까, 배기가스도 없고, 기판 위에 먼지가 떨어지는 일도 없습니다.
정확한 온도를 제공하는 히터.
이 램프들은 단파장 IR을 사용하기 때문에, 목표 온도에 빠르게 도달할 수 있습니다. 게다가 공간도 많이 차지하지 않습니다. 열이 직접 방출되기 때문에 강제 환기도 필요 없습니다. 이는 큰 장점입니다. 왜냐하면 공기가 움직이면 먼지가 날릴 수 있기 때문입니다. 따라서 열 분포를 완전히 제어할 수 있습니다.
단, 주의해야 할 점은 이 램프들의 성능이 매우 강력하다는 것입니다. 와트당 밀도가 높기 때문에, 전원 공급 장치에 부담이 갈 수 있습니다. 전압을 높일 때 발생하는 초기 부하를 감당할 수 있는 변압기를 사용해야 합니다. 그렇지 않으면 차단기가 작동할 수 있습니다.
설치 및 교체 방법.
접속부는 표준 형태를 유지하여, 기존 장비에 쉽게 설치할 수 있습니다. 밀폐성이 뛰어나므로, 공정실 안으로 아무것도 새어 들어오지 않습니다. 램프가 고장나면, 방 안의 공기 흐름을 방해하지 않고 빠르게 교체할 수 있습니다. 매우 간단합니다.
한 가지 팁: 만약 최대 전압으로 오랫동안 사용한다면, 석영이 결국 변질될 수 있습니다. 색상을 주의해서 확인하세요. 관이 유백색이나 흐릿해지면 바로 교체해야 합니다. 램프가 실제로 고장나기 전에 미리 교체하는 것이 훨씬 낫습니다.