PID制御半導体ヒーター

ライン上では、温度は背景の調整ダイヤルではなく、プロセスを駆動する要素です。フォトレジストのソフトベーク中に数度のズレがあると、クリティカルディメンション（CD）の目標値がずれます。ウェーハ乾燥時に冷却スポットがあると、スピン、ベーク、エッチングを経ても残るウォーターマークが発生します。熱挙動が外...