ウェーハ加熱時の安全距離

スマートファブで熱エネルギーを適切に管理する方法 もしスマートファブを構築するつもりなら、従来の熱処理のやり方ではもはや不十分だと気づいているはずです。単に「温度を上げればいい」というわけにはいきません。実際にフィードバックを与えてくれるシステムが必要です。 私たちの多くは、ウェーハの加熱に高効率...