クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が発生するという問題がどれほど深刻かご存知でしょう。ヒーターから出るわずかな粉塵だけで、作業中の製品は台無しになってしまいます。 一般的なコイルやワイヤー式のヒーターは、熱と冷...

なぜIR硬化装置には優れた反射器が必要なのか 半導体製造プロセスで「グリーン化」を図るということは、古くて非効率的な対流式オーブンを使わないようにすることを意味します。今では、ウェーハの表面に直接熱を与えるIR硬化方式が利用されています。しかし、問題は、ランプだけではエネルギーが無駄になってしまう...

ワットを無駄にしないで：IR熱を効率的に処理する方法 正直言って、半導体製造工場で電力を無駄にするのは、単なるお金の無駄です。ほとんどの人は従来のアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、この反射板ではIRランプの全ての波長の光をうまく捕捉できないということです。その結果、多くのエネルギーが...