水素センサー製造用ヒーター

水素センサーの熱制御を適切に行うために 水素センサーを製造するには、バランスを取る必要があります。微小な領域での加熱・冷却が求められるため、少しでも間違えると、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線（IR）システムを利用しています。薄膜を迅速に加熱したり、基...