공장 건조 공정을 위한 에너지 감사

벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 건조시키는 데에만 집중하세요. 반도체 건조 장비를 다룬 경험이 있다면 그 느낌을 잘 알 것입니다. 챔버를 열면 열기가 바로 얼굴로 달려듭니다. 웨이퍼뿐만 아니라 장비의 벽면도 매우 뜨거워집니다. 이건 낭비입니다. 일반적인 히터들...