왜 매초가 중요한 상황에서는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한지 만약 여전히 웨이퍼를 가열하기 위해 뜨거운 공기를 사용하고 있다면, 그건 사실상 기다리는 것에 불과합니다. 강제 공기 순환 방식을 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를...

휘발성 화학물질 근처에서 적외선 열을 사용할 때 안전을 유지하는 방법 웨이퍼를 화학적으로 세척할 때는, 보통 열을 싫어하는 용매들을 다루게 됩니다. 이러한 용매들은 인화성이 있으며, 경우에 따라서는 폭발성도 있습니다. 고온의 적외선 램프를 그런 용매들과 함께 사용하는...

수소 센서의 온도 제어를 제대로 하는 방법 수소 센서를 만드는 것은 균형을 맞추는 작업입니다. 아주 작은 크기의 열원을 사용해야 하며, 조금이라도 오차가 생기면 전체 제품이 폐기됩니다. 그래서 우리는 단파 적외선(IR) 시스템을 사용합니다. 얇은 필름을 빠르게 가열하...

열에 대한 추측을 그만두고, 데이터를 활용하세요: 데이터를 제조 공정에 도입하기 새로운 제조 공장을 계획할 때, 아마도 열 문제에 대해 많은 시간을 들여 고민했을 것입니다. 하지만 문제는, 단순히 열만으로는 충분하지 않다는 점입니다. 그 열이 실제로 어떤 작용을 하는...

IR을 이용한 MEMS 센서의 건조 처리 만약 MEMS 센서를 다룬 경험이 있다면, 웨이퍼를 건조하는 데 있어서 겪는 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 물방울이나 이온 오염만 있어도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만...

웨이퍼 처리 공정에서는 생체센서의 작동에 있어 열 변동이 허용되지 않습니다. 포토레지스트를 가열하는 과정에서 단 0.5도만의 온도 변화라도 선의 굵기를 변화시키거나 감도에 영향을 미쳐 공정을 망칠 수 있습니다. 저희는 이러한 열 변동을 최소화하기 위해 적외선 램프를...