ในห้องผลิตชิป ปัญหาเรื่องความผันผวนของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบฟิล์มโฟโตรีสิสต์หรือการทำให้แผ่นวีเซอร์แห้งนั้น ไม่เพียงแต่จะลดประสิทธิภาพการผลิตเท่านั้น แต่ยังส่งผลให้ขนาดของชิปเปลี่ยนไป และทำให้อัตราการผลิตลดลงอีกด้วย ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบทำความร้อนที่สามารถสร้างความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และคงที่ตลอดกระบวนการผลิต
เครื่องกำเนิดความร้อนแบบอินฟราเรดของเราใช้พลังงานคลื่นสั้นเพื่อสร้างความร้อนอย่างรวดเร็ว โดยมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1°C ตลอดกระบวนการผลิต นอกจากนี้ ตัวเครื่องยังมีโครงสร้างที่ช่วยป้องกันไม่ให้เกิดอนุภาคขึ้นมา ทำให้สามารถรักษาสภาพแวดล้อมในห้องผลิตให้อยู่ในระดับ Class 1–100 ได้ อัตราการสร้างความร้อนจะคงที่ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความผันผวนของอุณหภูมิน้อยกว่า 5% ดังนั้นจึงสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ระบบนี้สามารถนำมาใช้ร่วมกับอุปกรณ์ PECVD และอุปกรณ์ทำความร้อนอื่นๆ ได้เลย โดยมีตัวเลือกแรงดันไฟฟ้ามาตรฐาน และมีขนาดกะทัดรัด ไม่ขัดขวางการจัดวางอุปกรณ์อื่นๆ
ในกระบวนการทำให้แผ่นวีเซอร์แห้งและทำความสะอาด อุปกรณ์นี้ช่วยให้เกิดการกำจัดความชื้นออกจากแผ่นวีเซอร์ได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีความล่าช้าทางด้านอุณหภูมิ ส่วนในกระบวนการลิธโกกราฟี อุปกรณ์นี้ช่วยควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้โครงสร้างของฟิล์มโฟโตรีสิสต์และความสม่ำเสมอของขนาดชิปอยู่ในระดับที่ดี ส่วนในกระบวนการบรรจุหีบห่อ อุปกรณ์นี้ช่วยให้เกิดการแห้งของวัสดุที่ใช้ในการบรรจุได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ส่งผลกระทบต่อความแข็งแรงของการยึดเกาะระหว่างชิปกับวัสดุบรรจุ
เมื่อนำอุปกรณ์นี้มาใช้ร่วมกับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีประสิทธิภาพสูง ก็จะช่วยลดการใช้พลังงานได้ เมื่อเทียบกับเครื่องกำเนิดความร้อนแบบอื่นๆ นอกจากนี้ ยังช่วยยืดอายุการใช้งานได้ เนื่องจากไม่มีส่วนประกอบที่มีความร้อนสูงที่อยู่ในสภาพแวดล้อมที่มีก๊าซ
สิ่งที่สำคัญในการติดตั้งคือการปรับให้รูปร่างของตัวสะท้อนแสงและระบบควบคุมอุณหภูมิของอุปกรณ์เข้ากันได้ดี โดยเรามีแผนภูมิการปรับแต่งสำหรับการติดตั้งในห้องผลิตต่างๆ หากคุณเปลี่ยนจากการใช้คลื่นกลางมาเป็นคลื่นสั้น ก็ควรมีเวลาในการปรับอุณหภูมิเพิ่มขึ้นเล็กน้อย และควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าตำแหน่งของเซ็นเซอร์อยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมกับรูปร่างของอุปกรณ์ นอกจากนี้ ควรใช้อุปกรณ์ติดตั้งที่เหมาะสมกับห้องผลิต และตรวจสอบความเข้ากันได้ของท่อก๊าซ เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดความชื้นที่บริเวณรอยต่อของท่อก๊าซ