可持续的制造解决方案
别再让暖气设备毁掉你的产品良率了!
如果你在100级洁净室中工作,那你就知道其中的问题了:哪怕有一粒灰尘出现在错误的位置,整个生产批次的产物都会报废。问题在于,大多数普通加热元件其实都会产生颗粒物,这些颗粒物会破坏一切。
我们找到了更好的解决方案——使用高纯度的合成石英红外灯。这种灯才适合用于半导...
工厂干燥系统的能源审计
停止让墙壁过热吧(开始真正地烘干晶圆吧) 如果你曾经接触过半导体烘干设备,就会明白那种情况。当你打开设备舱门时,强烈的热量会立刻扑面而来。不仅晶圆会被烫伤,就连设备的墙壁也会变得极其炽热。
这其实是一种浪费。普通的加热器会将能量向各个方向释放,结果就是让昂贵的设备外壳变成一个巨大的散热体。这样一来...
经过认证的红外固化灯制造商
为何镀金红外灯如此重要 在半导体制造工厂中,仅仅提高功率并不足以解决问题。关键在于让热量能够被有效地利用起来。
想象一下普通的红外灯——它向各个方向散发能量,也就是360度。如果没有合适的反射器,那么一半的电能就会被用来加热机器的框架,这显然是一种浪费。因此,我们才使用镀金反射器。这样一来,那些被...
碳纤维红外灯制造厂
别再浪费能量了:为何镀金反射器如此重要 在晶圆制造过程中,让能量从系统中泄漏出去显然是糟糕的设计。如果你使用的是普通的碳纤维红外灯,那么你一定注意到了,大部分热量都会散失掉,无法作用于需要被加热的硅片上。这无疑是一种浪费。
我们通过在反射器表面涂上高纯度的金层来解决这个问题。其目的很简单:确保每一...
用于光刻机的石英玻璃防护罩
别再让灯管故障影响生产效率了 在大型生产工厂中,灯管烧毁无疑是个大问题。这不仅会导致设备停机,当石英玻璃外壳破裂时,碎片和化学物质还会溅到芯片上,从而导致芯片报废。这样一来,就需要花费大量时间来清理生产线。
我们找到了更好的解决方案:在加热元件与工件之间加上一层石英玻璃作为屏障。这个方法很简单,但...
洁净室设备升级改造中
阻止“玻璃雨”:保护晶圆免受灯泡故障的威胁 在高负荷的生产环境中,哪怕只有一个灯泡损坏,都可能让整个生产流程中断,甚至导致一批晶圆报废。
当石英管损坏时,它不会只是变黑而已,而是会爆炸,将大量玻璃碎片和粉尘撒满生产线。这无疑是一场灾难。正因如此,我们在设计红外线灯泡时特意加入了“安全防护机制”。...
不锈钢加热器外壳制造
为什么要在加热器的外壳上使用黄金涂层 在加热硅片时,每一份能量都至关重要。如果热量被外壳的壁面吸收,而无法作用于硅片上,那无疑就是浪费了能源和时间。
因此,我们在不锈钢外壳内部使用了黄金涂层来增强反射效果。我们的目标很简单:让每一瓦特的红外辐射都能直接照射到硅片上。
黄金的优势
经过抛光处理的不锈...
用于制造红外灯的石英套管
在芯片制造过程中,对光刻胶进行烘烤并非可选项,而是一项必须完成的工序。温度只要变化0.5摄氏度,就可能导致关键尺寸出现偏差;而一旦有杂质进入反应腔,就可能会损坏芯片。我们为红外灯设计的石英套管,正是为应对这些挑战而制造的:它能保持灯光输出稳定,同时确保反应腔内的清洁,从而让整个工艺过程处于受控状态...