如何保持100级洁净室的清洁状态 如果你正在运营100级洁净室，那么你一定很清楚颗粒物污染带来的麻烦。哪怕只有一小片灰尘从加热元件上脱落，整个生产批次的产品都会被毁掉。 普通的加热元件存在很大的风险。它们在高温与低温之间不断切换，这一过程中会产生氧化物和灰尘。这种状况是绝对不能容忍的。 因此，我们...

在制造车间里，光刻胶的性能取决于其所在环境中的温度分布——尤其是在进行软烘和硬烘处理时。如果晶圆上的加热不均匀，哪怕只有几度的差异，也会导致边缘出现缺陷、线宽发生变化，进而影响产品的良率。灯泡并非普通的配件，它实际上就是实现温度控制的中心部件。 关键在于确保晶圆表面的温度均匀性，理想情况下应保持在...