停止让墙壁过热吧（开始真正地烘干晶圆吧）
如果你曾经接触过半导体烘干设备，就会明白那种情况。当你打开设备舱门时，强烈的热量会立刻扑面而来。不仅晶圆会被烫伤，就连设备的墙壁也会变得极其炽热。
这其实是一种浪费。普通的加热器会将能量向各个方向释放，结果就是让昂贵的设备外壳变成一个巨大的散热体。这样一来，空调系统不得不超负荷工作来降温，而维护人员则在工作中不断面临被烫伤的风险。
我们找到了一种更好的方法：定向红外加热技术。
将热量集中在需要的地方
可以把普通加热器比作黑暗房间里的灯泡——它会把光散射到各处。但在空间有限的制造环境中，大部分能量都会被墙壁反射掉。
我们用短波红外灯以及精确的反射器来替代普通加热器。这样，能量就能直接作用于晶圆上，而墙壁则不会过热。
为什么这种方法有助于提高工作效率？
首先，它更安全。因为设备的内部墙壁不再像炉子一样发热，所以技术人员可以放心地进入设备内部进行操作，而不用担心被烫伤。
此外，设备的启动时间也会大大缩短。因为不必再浪费能量去加热沉重的钢制框架，能量可以直接从灯丝传递到晶圆上。这样效率自然更高。
当然，也有缺点……
不过，这并不是什么完美的解决方案。因为当热量如此集中时，某些区域就会变得非常热。
你不能随便把这种设备用在任何场合。必须确保晶圆固定装置能够承受这样的高温，否则晶圆就可能会变形。
另外，还有对齐的问题。如果反射器出现几毫米的偏差，那么烘干效果就会受到影响。所以，不能只是“设置好后就不管了”，还需要持续调整参数。
为了解决这个问题，我们建议使用闭环温度传感器。它可以实时监测表面温度，并自动调整功率，这样就不需要人工去猜测了。