便宜的晶圆干燥灯管

在制造车间里，光刻胶的性能取决于其所在环境中的温度分布——尤其是在进行软烘和硬烘处理时。如果晶圆上的加热不均匀，哪怕只有几度的差异，也会导致边缘出现缺陷、线宽发生变化，进而影响产品的良率。灯泡并非普通的配件，它实际上就是实现温度控制的中心部件。 关键在于确保晶圆表面的温度均匀性，理想情况下应保持在...