洁净室烤箱红外加热器

为何我们不再使用强制对流式烤箱 许多半导体生产线上仍然在使用强制对流式烤箱。这种烤箱的工作原理是先加热空气，再让空气来加热被加工的基板。这是一个缓慢且间接的加热过程，往往成为整个生产流程中的最大瓶颈。 正因如此，越来越多的人开始转向红外线加热方式。这种方式无需经过空气这一中间介质，可以直接将能量传...