用于冲洗的防水红外灯
为何在半导体清洗线上使用红外线灯
在半导体制造工厂中实现“绿色生产”,并非仅仅是为了满足合规要求。更重要的是要消除有害的挥发性有机化合物,同时减少能源浪费。因此,我们转而使用防水型红外线灯来进行干燥处理。
其原理在于:与那些像大型烤箱一样加热整个房间和空气的不同,红外线灯能够直接照射到芯片上。这种...
SRD 旋转冲洗干燥机 红外灯
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任务 将所提供的工业技术文章以最高专业准确度翻译成中文简体。
输入文本 在晶圆厂现场,若SRD留下水印或微粒,不仅影响外观,更直接影响良率。红外灯是整个干燥周期的热能驱动源,它界定了干燥过程的热预算边界,决...