为何我们不再使用强制对流式烤箱
许多半导体生产线上仍然在使用强制对流式烤箱。这种烤箱的工作原理是先加热空气，再让空气来加热被加工的基板。这是一个缓慢且间接的加热过程，往往成为整个生产流程中的最大瓶颈。
正因如此，越来越多的人开始转向红外线加热方式。这种方式无需经过空气这一中间介质，可以直接将能量传递到材料上。
告别漫长的预热时间
试想一下，为了等待对流式烤箱达到适宜的温度，你可能需要等待几分钟甚至几小时。这实在令人沮丧。而红外线加热器则完全不同——它几乎可以立刻达到峰值温度。对于大批量生产来说，将30分钟的预热时间缩短到10秒左右，就能节省大量时间，让整个生产流程更加高效。
保持环境的清洁与低温状态
在洁净室环境中，风扇虽然有助于空气流动，但也会带来灰尘问题。即使使用了HEPA过滤器，大量空气的流动仍可能带来污染风险。而红外线加热器则不会产生这种情况——没有风扇，没有气流扰动，也不会有灰尘飞散。此外，红外线加热器能够将热量精准地传递到需要加热的位置，而不必加热整个烤箱结构。这样一来，工厂的暖通空调系统就不会承受过大的负担。
需要注意的是
不过，红外线加热器并非适用于所有加工过程。只有当红外线灯泡能够照射到待加工的部件时，它才能发挥作用。如果部件是堆叠在一起的，或者形状复杂，那么某些部位可能会因为无法被加热而出现温度不足的问题。为了解决这个问题，就需要采用多灯组或反射装置来确保热量能均匀分布到各个部位。另外，由于红外线的能量非常集中，因此必须密切监控表面温度，否则很容易在不知不觉中烧坏材料。