PECVD加热红外发射器

在制造工厂中，光刻胶烘烤或晶圆干燥过程中产生的热量波动不仅会降低生产效率，还会导致关键尺寸发生变化，进而影响成品率。因此，需要一种能够快速加热、保持温度稳定且无杂质的加热方式——而且这种效果需要在多个生产批次中都保持一致。 我们的PECVD加热红外发射器采用短波能量来实现快速加热，使得整个工艺过程...