ホットエアーによってウェーハの品質が損なわれるのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで作業している場合、わかっていると思いますが、ちょっとしたほこり一つでも、全体の製品が台無しになってしまいます。問題は、一般的な加熱要素は実際には粒子を発生させる原因になるということです。それらの粒子が基板に付着し、品質を悪化させてしまいます。
私たちはより良い方法を見つけ出しました。半導体製造工場で使用される高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。
秘密は石英にあります。
私たちは不純物がほとんど含まれていない溶融シリカを使用しています。なぜかというと、金属汚染は大きな問題になるからです。普通のガラスでは、繰り返される加熱・冷却に耐えられず、壊れてしまいます。しかし、この素材は丈夫です。
さらに素晴らしい点は、有機系の接着剤やバインダーを除去していることです。安価なヒーターを使うと、奇妙な臭いや「焼ける」ような匂いがしますよね？そういうことはありません。ガスの発生もなく、基板に粒子が付着することもありません。
的確な温度で加熱できます。
これらのランプは短波長のIRを利用しているため、目標温度に迅速に到達できます。また、占めるスペースも少ないです。
熱が直接放射されるため、強制送風の必要もありません。これは大きな利点です。なぜなら、空気の流れによってほこりが舞い上がってしまうからです。熱の制御も完全に可能です。
ただし、注意が必要です。このランプは非常に強力なので、電源装置に負担がかかります。起動時の急激な電流増加に対応できるように、変圧器をしっかり選ぶ必要があります。そうしないと、ブレーカーが切れてしまいます。
設置や交換の方法
接続部は標準的なものを使用しているので、既存の装置に簡単に取り付けられます。シールも真空密閉型なので、処理室に何も漏れ込みません。
ランプが壊れてしまった場合も、部屋内の空気の流れを乱すことなく、すぐに交換できます。とても簡単です。
もう一つのコツ：最大電圧で長時間使用すると、石英が徐々に劣化してしまいます。色をチェックしてみてください。管が乳白色や濁ってきたら、すぐに交換しましょう。実際に故障する前に交換した方がずっと良いです。