なぜクリーンルームで強制送風式オーブンを使わなくなっているのか
多くの半導体製造ラインでは、依然として強制送風式のオーブンが使用されている。これは、空気を加熱し、その空気が最終的に基板を加熱する方式だ。これは効率の悪い間接的な加熱方法であり、通常、全体の工程のボトルネックとなってしまう。
そのため、私たちの多くは赤外線加熱方式へと移行しているのだ。赤外線加熱では、空気を介さずにエネルギーを直接部品に届けることができる。
待ち時間の無駄をなくす
強制送風式オーブンが所定の温度になるのを待つのにかかる時間を考えてみてください。数分、場合によっては数時間も待たなければならない。これは本当にイライラすることです。
一方、赤外線ランプは全く異なります。ほぼ瞬時に温度が上昇します。ゼロからピーク温度まで数秒で到達します。大量生産を行っている場合、30分かかっていた加熱時間を10秒に短縮できれば、莫大な時間の節約になります。そうすれば、全体の作業がスムーズに進みます。
清潔さと冷却の維持
また、クリーンルームでは扇風機が空気を動かすのには便利ですが、同時に微粒子を飛ばす原因にもなります。HEPAフィルターがあっても、大量の空気を動かすと汚染のリスクが高まります。
赤外線ヒーターはそういう問題がありません。ファンもなく、乱流もなく、ゴミも飛び散りません。
さらに、必要な場所により多くの熱を与えることができ、オーブン全体を加熱する必要もありません。そうすれば、施設のHVACシステムにとっても好都合です。
注意点
ただし、赤外線加熱も万能なわけではありません。ランプが部品を正しく照らせる場合にのみ効果的です。部品が重なっていたり、形状が複雑だったりする場合は、冷たい部分ができてしまいます。
それを解決するには、単純に接続するだけでは不十分です。複数のランプを使ったり、反射板を使って熱を適切な場所に向ける必要があります。
また、エネルギーが集中するため、常に状態を監視する必要があります。表面温度を測定するためにピロメーターを使うべきです。そうしないと、気づかないうちに部品が焼けてしまう可能性があります。