ファブIRランプ用クォーツスリーブ

製造現場において、フォトレジストの焼成処理は推奨されるものではなく、必須の工程です。わずか0.5℃の温度変動だけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、スリーブ内の微粒子一つでも、ウェーハを破壊してしまう可能性があります。当社の石英スリーブは、このような状況に対応するために設計されています。それに...