クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

なぜクリーンルームで強制送風式オーブンを使わなくなっているのか 多くの半導体製造ラインでは、依然として強制送風式のオーブンが使用されている。これは、空気を加熱し、その空気が最終的に基板を加熱する方式だ。これは効率の悪い間接的な加熱方法であり、通常、全体の工程のボトルネックとなってしまう。 そのため...