安価なウェーハ乾燥用ランプの電球

ファブの現場において、フォトレジストの挙動は、特にソフトベイクやハードベイクの際の熱的条件に大きく左右されます。ウェーハ全体での加熱が均一でなければ、端部にビードができたり、線幅が変わったりし、結果として歩留まりが低下します。ランプは単なる付属品ではなく、実際に熱制御が行われる重要な要素です。 こ...