制御雰囲気焼成ランプ

製造現場において、温度の変動は、目に見えない形で生産性を低下させる要因です。フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、CDの位置がずれてしまいます。また、洗浄後に水分が残っていると、微細な橋渡し現象が起こります。パッケージングの場合も、均一でない硬化処理によって歪みや信頼性が低下...