スマートファブで熱エネルギーを適切に管理する方法 もしスマートファブを構築するつもりなら、従来の熱処理のやり方ではもはや不十分だと気づいているはずです。単に「温度を上げればいい」というわけにはいきません。実際にフィードバックを与えてくれるシステムが必要です。 私たちの多くは、ウェーハの加熱に高効率...

なぜバスルーム用ヒーターをIP65規格にアップグレードする必要があるのか？ 正直に言って、昔のバスルーム用ヒーターというのは、まったく役に立たないものです。普通、単純な石英管を使っており、ほとんど保護機能がありません。問題は、バスルームというのは基本的に蒸気室のような環境であり、そうした湿気に耐え...

揮発性化学物質を加熱するときの安全対策 正直言って、半導体洗浄液を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい化学物質を扱う際、通常の赤外線ランプだけでは不十分であり、むしろ危険因子になり得ます。 そこで私たちは、単に加熱装置を作るだけでなく、それを保護シェルで覆います。そうすることで、危...

ベビーラウンジは、落ち着いた雰囲気で、清潔で、快適な温度に保たれているべきです。問題は、多くのヒーターが騒音を発し、空気を乾燥させ、部屋の酸素を奪ってしまうことです。 そのため、専門家たちは、赤ちゃんがいる家族に対して、静かで酸素を消費しない赤外線ヒーターの使用を勧めます。私たちの赤外線ヒーターは...

ファブ内では、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に生じる熱的なドリフトは、単に生産性を低下させるだけでなく、ウェーハの寸法精度を乱し、歩留まりを悪化させます。そのため、迅速かつ安定した加熱が求められ、また、シフトごとにもその状態が維持される必要があります。 当社のPECVD用加熱用赤外線エミッ...