ウェーハ用高精度IRセンサー

なぜ、秒単位で時間が重要になる場面においては、赤外線加熱の方が強制送風より優れているのか？ もし依然としてウェーハを加熱するために強制送風を利用しているのであれば、それはまるで待っているだけの状態です。 強制送風の仕組みを考えてみてください。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つ必要...