製造工程における乾燥工程のエネルギー診断

壁を加熱するのをやめて、ウエハーを乾燥させましょう 半導体乾燥装置の周りで作業したことがある人なら、その状況がどんなものかわかるでしょう。チャンバーを開けると、すぐに熱気が顔に当たります。ウエハーだけでなく、装置の壁自体も高温になっています。 これは無駄なことです。一般的なヒーターはエネルギーをあ...