半導体機械用予備部品ヒーター

ファブフロアでは、フォトレジストのベイクプロファイルがわずか0.5度でもずれると、多数のウェハが影響を受ける。ソフトベイクとハードベイクは単なる「加熱工程」ではなく、ライン幅制御と歩留まりを決定する。ヒーターの性能が不足していると、クリティカルディメンションの不均一、エッジビードの発生、スクラップ...