なぜ半導体洗浄工程で赤外線ランプを使用するのか 半導体製造工場で「グリーン化」を図るというのは、単に規制を満たすためだけではありません。有害なVOCの削減や、過剰なエネルギー消費の抑制が目的です。そのため、乾燥用には防水機能を持つ赤外線ランプが使用されています。 具体的には、従来の熱風乾燥方式では...

ファブフロア上で SRDがウェハーにウォーターマークやパーティクルを残すということは、見た目の問題に留まらず、歩留まりを悪化させる要因となる。赤外線ランプはサイクル全体の熱駆動要素であり、熱予算に合致した乾燥と、フィルムにストレスを与える乾燥の境界線を決める。 技術的に重要なポイント SRDの赤外...