スマートファブで熱エネルギーを適切に管理する方法 もしスマートファブを構築するつもりなら、従来の熱処理のやり方ではもはや不十分だと気づいているはずです。単に「温度を上げればいい」というわけにはいきません。実際にフィードバックを与えてくれるシステムが必要です。 私たちの多くは、ウェーハの加熱に高効率...

なぜ、私たちは赤外線ヒーターを交換可能な構造にしたのか？ 赤外線ヒーターを購入するとき、単に熱エネルギーそのものの代金を支払っているわけではありません。5年後に部品が劣化し始めたときに発生する問題の対処費用も含まれています。 市販されているほとんどのヒーターは、一つの大きなユニットとして作られてい...