粒子の飛散を防ぐ：クラス100の加熱システムを正しく設定する方法 もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、たった一つの粒子があるだけで大変なことになるという現実はご存知でしょう。わずかな破片があっただけで、生産された製品は全て廃棄処分になってしまいます。 問題は通常、加熱素子にあります...

ファブ内では、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に生じる熱的なドリフトは、単に生産性を低下させるだけでなく、ウェーハの寸法精度を乱し、歩留まりを悪化させます。そのため、迅速かつ安定した加熱が求められ、また、シフトごとにもその状態が維持される必要があります。 当社のPECVD用加熱用赤外線エミッ...