팹 램프용 석영 유리 보호판
램프 고장으로 인해 생산성이 저하되는 것을 막으세요.
대량 생산 환경에서 램프가 고장나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아닙니다. 석영관이 파열되면 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 그러면 웨이퍼는 즉시 폐기되고, 설비를 청소...
IR 램프용 석영 슬리브
팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 이행해야 하는 과제입니다. 0.5°C의 온도 변화만으로도 치명적인 결과가 발생할 수 있으며, 심지어 작은 먼지 한 알만으로도 칩이 손상될 수 있습니다. 저희가 사용하는 쿼츠 소재의 슬리브는 바로...
중파 석영 히터 튜브
제조 현장에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 오븐의 온도가 0.5°C만 변해도 포토레지스트의 성질이 달라지고, 그로 인해 칩에 손상이 생길 수 있습니다. 중파 석영 히터는 바로 이러한 환경에서 사용됩니다. 여기서는 온도 제어가 단순한 설정이 아니라, 공정 자체의 일부...