스마트 팹이 고장 나지 않도록 하기 위해서는… “디지털” 팹을 구축한다는 것은 단순히 기계에 센서를 부착하는 것 이상의 의미가 있습니다. 중요한 것은 하드웨어입니다. 특히, 극심한 열에도 견딜 수 있는 소재가 필요합니다.
반도체 가공 과정에서는 고효율적인 적외선 시스템이 필수적입니다. 하지만 문제는, 배선이 그러한 열을 견딜 수 없다면 데이터는 아무런 의미가 없다는 점입니다. 그래서 테플론(PTFE)으로 된 절연 배선은 반드시 필요합니다.
왜 테플론을 사용해야 할까요? 일반적인 PVC나 실리콘 배선을 적외선 램프 근처에 사용하면 금방 손상됩니다. 하지만 테플론은 다릅니다. 다른 플라스틱들이 녹아내리는 고온에서도 그 성능을 유지합니다. 현대적인 팹에서는 공간이 협소하기 때문에, 고밀도로 배열된 가열 요소들 사이에서도 테플론을 사용하면 회로 단락 걱정 없이 전력을 원하는 곳으로 보낼 수 있습니다.
게다가, 테플론은 클린룸 내에 있는 부식성 화학물질에도 영향을 받지 않습니다. 그저 그 성능을 유지할 뿐입니다.
“스마트” 생산을 실현하기 위해서는… 인더스트리 4.0은 듣기에는 멋져 보이지만, 실제로는 단지 디지털화에 불과합니다. 정확한 데이터를 얻으려면 적외선 램프에 안정적이고 신뢰할 수 있는 전력이 필요합니다. 고효율 시스템을 사용하면 빠르게 열을 가하거나 낮출 수 있습니다. 이것이 바로 비결입니다. 이를 통해 오랜 시간을 기다릴 필요 없이 웨이퍼의 설정을 변경할 수 있습니다. 그 결과 전체 작업 속도가 빨라집니다.
단점도 있습니다… 물론, 테플론도 완벽한 해결책은 아닙니다. 몇 가지 단점이 있습니다. 우선, 테플론은 딱딱해서 실리콘처럼 쉽게 구부러지지 않습니다. 배선을 너무 세게 잡아당기면 전선에 스트레스가 가해집니다. 따라서 열 보호와 가열 요소의 물리적 구조 사이에 균형을 맞춰야 합니다. 그렇지 않으면 기계적 마모가 발생할 수 있으며, 24/7으로 작동하는 생산 과정에서 시스템 고장이 발생할 수도 있습니다.